1.本发明涉及保持物品的夹持器装置、具备夹持器装置的输送车以及保持并输送物品的输送方法。
背景技术:2.如专利文献1所记载的那样,公知有支承收纳容器的夹持器装置。该夹持器装置具备在升降台的大致中央部分向下方突出的中心锥体、和从下方支承收纳容器的一对指部。若夹持器装置从收纳容器的上方下降,则一对指部被收纳容器的凸缘部引导,中心锥体被插入凸缘部的插入孔。由此,相对于收纳容器定位夹持器装置。
3.专利文献1:日本特开2016-163001号公报
4.在上述现有的夹持器装置中,由于仅通过一个中心锥体来进行定位,所以存在高度方向的定位不充分的担忧。在通过具有半球面形状的外周面的中心锥体进行定位的情况下,有可能残留以中心锥体为中心的旋转方向的偏移。
技术实现要素:5.本发明说明一种能够正确地进行相对于物品的水平方向以及高度方向的定位的夹持器装置、输送车以及输送方法。
6.本发明的一实施方式是保持载置在移载部的物品的夹持器装置,其具备:保持部,其安装于能够在移载部的上方升降的升降部,并保持物品;第一定位部,其安装于升降部,通过在物品的上部的两处第一接触位置与物品接触,而相对于物品进行水平方向的保持部的定位;以及第二定位部,其安装于升降部,通过在物品的上部的没有位于一条直线上的三处第二接触位置与物品接触,而相对于物品进行高度方向的保持部的定位。
7.根据该夹持器装置,第一定位部在物品的上部的两处第一接触位置与物品接触。通过第一定位部的接触,相对于物品进行水平方向的保持部的定位。而且,第二定位部在物品的上部的三处第二接触位置与物品接触。由于上述三处第二接触位置没有位于一条直线上,所以通过第二定位部的接触,相对于物品进行高度方向的保持部的定位。这样,使用与水平方向有关的两处、以及与高度方向有关的三处接触位置,所以能够正确地进行相对于物品的水平方向以及高度方向的定位。
8.第一定位部也可以仅在两处第一接触位置与物品接触。在第一定位部在三处以上的第一接触位置与物品接触的情况下,在三处中的两处和另一处,无法唯一确定水平方向的保持部的位置,存在产生不匹配的可能性。即、在三处以上的第一接触位置之间可能产生争夺。若将第一接触位置仅限制在两处则能够抑制那样的不匹配即争夺。
9.也可以在设置于物品的上表面的被位置检测部形成有具有朝向上方开放的开口并且相对于开口的高度越低则内径越小的两个锥形的引导孔,形成了两个引导孔的位置也可以是两处第一接触位置并且是两处第二接触位置,第一定位部也可以具有能够分别进入两个引导孔的两个凸部件。在该情况下,两处第一接触位置和两处第二接触位置被共用化,
由此能够减少定位的部件。
10.第二定位部也可以具有包含在第二接触位置的至少一个与设置于物品的上表面的被位置检测部接触的水平面部的至少一个按压部件。根据包含水平面部的按压部件,能够准确且容易地进行高度方向的定位。
11.第二接触位置也可以设置在四个部位。在该情况下,能够在高度方向上更准确地进行定位。
12.作为本发明的其它实施方式,也可以提供一种输送车,其具备上述任一个夹持器装置,并沿着设置在天花板的轨道行驶。根据该输送车,在保持部相对于物品准确地进行了定位的状态下,保持物品。因此,物品的输送状态能够稳定,由此能够以高速输送物品。
13.本发明的另一实施方式是用夹持器装置保持并输送载置在移载部的物品的输送方法,上述夹持器装置具备:安装于能够在上述移载部的上方升降的升降部,并保持上述物品的保持部;用于相对于上述物品的水平方向的定位的第一定位部;以及用于相对于上述物品的高度方向的定位的第二定位部,该输送方法包含以下工序:下降工序,使上述升降部下降;第一定位工序,在上述下降工序之后实施,通过在上述物品的上部的两处第一接触位置使上述第一定位部与上述物品接触,而相对于上述物品进行水平方向的上述保持部的定位;第二定位工序,在上述下降工序之后实施,通过在上述物品的上部的没有位于一条直线上的三处第二接触位置使上述第二定位部与上述物品接触,而相对于上述物品进行高度方向的上述保持部的定位;以及保持工序,在上述第一定位工序以及上述第二定位工序之后实施,由上述保持部保持上述物品。
14.根据该输送方法,能够实现与上述相同的作用/效果。即、由于所以与水平方向有关的两个部位以及与高度方向有关的三处接触位置,所以能够准确地进行相对于物品的水平方向以及高度方向的定位。
15.根据本发明,能够准确地进行相对于物品的水平方向以及高度方向的定位。
附图说明
16.图1是表示具备本发明的一实施方式的夹持器装置的输送车的简要结构的图。
17.图2是表示图1中的夹持器装置的俯视图。
18.图3是表示通过图1的输送车系统输送的物品的立体图。
19.图4是表示第一定位部的构造的剖视图。
20.图5是表示第二定位部的构造的剖视图。
21.图6是表示第一定位工序中的第一定位部和物品的被保持部的配置的图。
22.图7是表示升降部接着图6所示的状态下降后的状态的图。
23.图8是表示升降部接着图7所示的状态下降并停止了的状态的图。
24.图9是表示接着图8所示的状态,保持部向被保持部的卡合位置移动后的状态的图。
25.图10是表示接着图8所示的状态,保持部与被保持部卡合并保持物品的状态的图。
26.图11的(a)~图11的(d)是表示与第一接触位置和第二接触位置的配置有关的各种变化的图。
具体实施方式
27.如图1所示,一实施方式的高架搬运车(输送车)1沿着敷设在制造半导体设备的洁净室的天花板110的轨道100行驶。一实施方式的高架搬运车1进行收纳有多个半导体晶片的foup(front opening unified pod:前开式统一吊舱)(物品)200的输送、以及foup200相对于设置在对半导体晶片实施各种处理的处理装置的移载部亦即装载端口(移载部)300等的移载。轨道100通过悬挂支柱108悬挂在天花板110。轨道100具有行驶轨道101、和设置在行驶轨道101的下部的供电轨道102。
28.高架搬运车1具备框架单元2、行驶单元3a、受电单元3b、横向单元4、整理器单元(
シータユニット
)5、升降驱动单元6、夹持器装置10以及控制器8。框架单元2具有中心框架21、前框架22和后框架23。前框架22从中心框架21的前侧(高架搬运车1的行驶方向的前侧)的端部向下侧延伸。后框架23从中心框架21的后侧(高架搬运车1的行驶方向的后侧)的端部向下侧延伸。
29.行驶单元3a以及受电单元3b配置在中心框架21的上侧。行驶单元3a安装于行驶轨道101。受电单元3b例如从沿着供电轨道102敷设的高频电流线以非接触的方式接受电力的供给。通过对受电单元3b的电力的供给,行驶单元3a沿着轨道100行驶。横向单元4配置在中心框架21的下侧。横向单元4使整理器单元5、升降驱动单元6以及夹持器装置10沿横向(高架搬运车1的行驶方向的侧方)移动。整理器单元5配置在横向单元4的下侧。整理器单元5使升降驱动单元6以及夹持器装置10在水平面内转动。
30.升降驱动单元6配置在整理器单元5的下侧。升降驱动单元6使夹持器装置10升降。夹持器装置10配置在升降驱动单元6的下侧。夹持器装置10保持foup200的凸缘部202。控制器8配置在前框架22以及后框架23。控制器8是由cpu、rom以及ram等构成的电子控制单元。控制器8控制高架搬运车1的各部分。
31.在前框架22以及后框架23安装有防止foup200从框架单元2落下的4个下落下防止部26以及2个盖落下防止部27。下落下防止部26在框架单元2的四角的位置处,分别安装在前框架22的下端和后框架23的下端,分别与foup200的底面的前端以及后端相对。盖落下防止部27分别安装在前框架22的下部和后框架23的下部,从盖205侧(参照图3)与foup200相对。上述下落下防止部26以及盖落下防止部27伴随着foup200的移载而以适当的时刻进行开闭。
32.以上那样构成的高架搬运车1作为一个例子,如下那样进行动作。在从装载端口300向高架搬运车1移载foup200的情况下,没有保持foup200的高架搬运车1在装载端口300的上方停止。在夹持器装置10的水平位置从装载端口300的正上方的位置偏离的情况下,通过驱动横向单元4以及整理器单元5,按每个升降驱动单元6来微调保持单元的水平位置以及角度。接着,升降驱动单元6使夹持器装置10下降,夹持器装置10保持载置于装载端口300的foup200的凸缘部202。接着,升降驱动单元6使夹持器装置10上升至上升端,在前框架22与后框架23之间配置foup200。下落下防止部26以及盖落下防止部27关闭。接着,保持了foup200的高架搬运车1开始行驶。
33.另一方面,在从高架搬运车1向装载端口300移载foup200的情况下,保持了foup200的高架搬运车1在装载端口300的上方停止。下落下防止部26以及盖落下防止部27被打开。在夹持器装置10(foup200)的水平位置从装载端口300的正上方的位置偏离的情况
下,通过驱动横向单元4以及整理器单元5,按每个升降驱动单元6来微调保持单元的水平位置以及角度。接着,升降驱动单元6使夹持器装置10下降,向装载端口300载置foup200,夹持器装置10释放foup200的凸缘部202的保持。接着,升降驱动单元6使夹持器装置10上升至上升端。接着,没有保持foup200的高架搬运车1开始行驶。
34.如图2所示,夹持器装置10具备:成为夹持器装置10的主体的升降部11、和保持foup200的保持部9。保持部9具有:固定于升降部11的马达16、经由马达16的输出轴16a与马达16连接的一个连杆机构20、以及安装于连杆机构20的前端的一对指部(卡合部)12。马达16、连杆机构20以及一对指部12安装于升降部11。马达16以及连杆机构20构成使一对指部12移动的驱动部7。此外,一对指部12也可以例如由滚珠丝杠或者带等驱动而并不是由连杆机构20驱动。升降部11通过构成上述升降驱动单元6的例如四根带6a而悬挂。升降部11通过由控制器8对升降驱动单元6进行控制,而能够在foup200的上方(装载端口300的上方)升降。此外,也可以是升降驱动单元6具有三根带6a,升降部11通过三根带6a而悬挂。
35.参照图3对被本实施方式的夹持器装置10保持的foup200进行说明。foup200例如具有立方体形状的主体201。在主体201的侧面(高架搬运车1的行驶方向的侧方的面)能够开闭地安装有盖205。foup200在主体201内收纳多个半导体晶片。foup200也可以在主体201内收纳作为四边形状的基板的多个半导体面板。在主体201的矩形的上表面201a设置有被夹持器装置10保持的一对凸缘部202。一对凸缘部202在沿着上表面201a的方向且与高架搬运车1的行驶方向对应的方向(图中所示的x方向)上分离。在以下的说明中,将该方向称为“第一方向”。一对凸缘部202配置在上表面201a的x方向的端部201b、201b,分别向沿着上表面201a的方向且与上述第一方向正交的方向(图中所示的y方向)较长地延伸。在以下的说明中,将与该第一方向正交的方向称为“第二方向”。上述第一方向以及第二方向的用语能够用于foup200的说明,也可以用于foup200的夹持器装置10的说明。如上所述,第一方向与升降驱动单元6以及夹持器装置10排列在框架单元2的状态下的、高架搬运车1的行驶方向对应。
36.更详细而言,在foup200的上表面201a,在端部201b、201b的各个立起设置有多对(在本实施方式中为三对)支柱203。各支柱203与上表面201a垂直地延伸,其下端固定于上表面201a。在上表面201a的第一方向的一个端部201b例如立起设置有三根具有相同长度的支柱203,在上述支柱203的上端通过焊接或者螺栓等固定有一个凸缘部202。在上表面201a的第一方向的另一个端部201b例如立起设置有三根具有相同长度的支柱203,在上述支柱203的上端通过焊接或者螺栓等固定有一个凸缘部202。一对凸缘部202例如与foup200的上表面201a平行地延伸。如以上说明那样,foup200具备设置于上表面201a并在沿着上表面201a的第一方向上分离的一对凸缘部202。
37.通过设置支柱203,在上表面201a与凸缘部202之间形成有规定的空间。而且,如图1所示,一对凸缘部202收纳在主体201的第一方向的长度(foup200的整体长度)的范围内。从上表面201a的中央部朝向端部201b,将夹持器装置10的指部12插入上表面201a与凸缘部202之间的空间。foup200被从内向外移动并插入上述空间的指部12从下方保持(支承)。
38.夹持器装置10的一对指部12沿着第一方向(图中所示的x方向)移动。在夹持器装置10保持foup200时,指部12以与凸缘部202接近的方式进入。在夹持器装置10释放foup200的保持时,指部12以远离凸缘部202的方式退避。
39.如图2所示,连杆机构20是用于使指部12移动的机构。连杆机构20包含:与马达16的输出轴16a连结,并以输出轴16a为中心旋转的一个中央连杆17;第一端能够旋转地与设置在中央连杆17的两端的一对轴17a连结的一对第一连杆18;以及基端能够旋转地与设置在第一连杆18的第二端的一对轴18a连结的一对第二连杆19。中央连杆17伴随着输出轴16a的旋转而旋转,一个第一连杆18以及第二连杆19、和另一个第一连杆18以及第二连杆19同步地移动。在一对第二连杆19的前端分别安装有指部12。在指部12形成有接纳中央的支柱203的切口部12a。
40.在本实施方式的夹持器装置10设置有用于相对于foup200进行保持部9的定位的机构。针对物品的适当的定位的必要性如上述专利文献1所记载的那样。适当地进行定位,由此夹持器装置10的指部12(保持部9)具有正确的位置以及姿势,相对于foup200的卡合以及保持变得良好。夹持器装置10具备的定位机构通过foup200具有的被位置检测部以及接触位置的配合,能够进行更准确的定位。
41.如图2所示,夹持器装置10具备安装于升降部11的四个定位部。更详细而言,夹持器装置10在俯视中呈矩形的升降部11的四角的位置具备定位部。在升降部11的一个对角线上(图2所示的左上角和右下角)安装有两个第一定位部40。上述第一定位部40基本上相对于foup200进行水平方向(沿着xy平面的方向)的保持部9的定位。而且,在升降部11的另一个对角线上(图2所示的右上角和左下角)安装有两个第二定位部50。上述第二定位部50相对于foup200进行高度方向(图1所示的z方向)的保持部9的定位。
42.在说明第一定位部40以及第二定位部50的构造之前,参照图3对定位机构涉及的foup200的构造进行说明。如图3所示,foup200的凸缘部202分别是沿第二方向较长地延伸的长条平板部件,与foup200的上表面201a平行地延伸。各凸缘部202的凸缘上表面202a是平坦的,并与上表面201a平行。凸缘上表面202a是设置于foup200的上表面201a的被位置检测面(被位置检测部),通过第一定位部40以及第二定位部50接触,能够进行保持部9的高度方向的定位。
43.在各凸缘部202的第二方向的两端部形成有两个引导孔206。上述引导孔206具有相同的大小以及形状。各引导孔206具有倒圆锥台形状,沿厚度方向贯通凸缘部202。各引导孔206具有朝向上方开放的圆形的开口,并具有越向下方则内径越小的圆锥状的锥形。即、在各引导孔206中,相对于上端的开口的高度越低则内径越小。在一对凸缘部202中,相对于与第一方向正交的假想的中央面(包含输出轴16a的轴线的面),对称地形成了引导孔206。上述四个引导孔206的位置在俯视下,与第一定位部40以及第二定位部50的位置对应。更详细而言,在保持部9相对于foup200处于正确的位置时,四个引导孔206的中心轴线的位置与后述的第一定位部40的轴42以及第二定位部50的轴52的位置一致。四个引导孔206中的、配置在第一对角线上的两个引导孔206通过第一定位部40接触,能够进行保持部9的水平方向的定位。与此同时,配置在第一对角线上的两个引导孔206通过两个第一定位部40接触,也能够进行保持部9的高度方向的定位。
44.两个第二定位部50不与四个引导孔206中的、配置在第二对角线上的两个引导孔206接触。在本实施方式中,两个第二定位部50在形成有配置在第二对角线上的两个引导孔206的位置,仅与凸缘上表面202a接触。foup200具有四个引导孔206,由此能够提高foup200的通用性。四个引导孔206例如在通过作为与本实施方式的高架搬运车1不同的其它输送系
统的agv(automated guided vehicle:自动导引车)处理foup200的情况下,能够被利用。
45.参照图2、图4以及图5分别对第一定位部40以及第二定位部50的构造进行说明。如图2以及图4所示,第一定位部40具有:固定于升降部11的角部的传感器盒45、能够相对于传感器盒45上下移动的轴42、以及固定于轴42的下端部的凸部件41。传感器盒45例如朝向上下开放,其侧面固定于升降部11的外侧面。凸部件41也可以包含圆锥面部41a。圆锥面部41a例如具有与凸缘部202的引导孔206卡合那样的与引导孔206对应的形状。换言之,凸部件41的圆锥面部41a的一部分具有与引导孔206的周壁面大体一致的形状。在传感器盒45的底面与凸部件41之间绕轴42夹装有弹簧43。弹簧43对凸部件41和传感器盒45向使它们分离的方向施加作用力。
46.在轴42的上端固定有位置检测板44。在传感器盒45内的上部,在对置的位置设置有就座传感器46以及在位传感器47。就座传感器46以及在位传感器47固定于传感器盒45,检测伴随着传感器盒45内的位置检测板44的相对移动的、第一被检测片44a以及第二被检测片44b的存在与否。就座传感器46是检测保持部9的就座(即凸部件41是否被插入凸缘部202的引导孔206)的传感器。在位传感器47是在foup200被抬起的状态下检测foup200的存在的传感器。例如,若foup200不存在,则在位传感器47关闭,进行异常报告。作为foup200的不存在例如认为由凸缘部202的脱落等引起的、foup200相对于指部12的卡合状态的丧失。在就座传感器46以及在位传感器47连接有用于向控制器8输出信号的电缆。关于伴随着升降部11的升降以及夹持器装置10对foup200的保持的、上述传感器的检测动作将在后述。
47.如图2以及图5所示,第二定位部50具有:固定于升降部11的角部的盒55、能够相对于盒55上下移动的轴52、以及固定于轴52的下端部的平板状的按压部件51。盒55例如朝向上下开放,其侧面固定于升降部11的外侧面。按压部件51也可以包含与foup200的凸缘上表面202a接触的水平面部51a。轴52的下端也可以从按压部件51的下表面稍微突出。在水平面部51a与凸缘上表面202a接触了的状态下,轴52突出的部分被配置在引导孔206内。在盒55的底面与按压部件51之间绕轴52夹装有弹簧53。弹簧53对按压部件51和盒55向使它们分离的方向施加作用力。
48.在第一定位部40以及第二定位部50中,凸部件41相对于引导孔206的高度、和按压部件51相对于凸缘上表面202a的高度相等。换言之,在凸部件41的圆锥面部41a与引导孔206的周壁面接触并且按压部件51的水平面部51a与凸缘上表面202a接触、从弹簧43以及弹簧53受到的作用力(回弹力)相等的状态下,升降部11和保持部9的姿势成为相对于foup200的上表面201a平行。即、保持部9相对于foup200在高度方向上被定位。而且换言之,在凸部件41与引导孔206的周壁面接触(凸部件41嵌入引导孔206)、按压部件51与凸缘上表面202a接触(搭载)、由四根带6a悬挂的升降部11以及保持部9由于它们的自重而搭在凸缘部202上的状态下,保持部9相对于foup200在高度方向上被定位。并且,在该状态下,通过凸部件41相对于引导孔206的嵌合(锥形的嵌合),保持部9相对于foup200在水平方向上也被定位。
49.在具有以上结构的夹持器装置10以及foup200中,如图3所示,在凸缘部202中,形成有配置在第一对角线上的两个引导孔206的位置是第一定位部40接触的两处第一接触位置pa。第一定位部40在foup200的上部的两处第一接触位置pa与foup200接触,从而相对于foup200进行水平方向的保持部9的定位。
50.另外,在凸缘部202中,形成有配置在第一对角线上的两个引导孔206的位置也是
第一定位部40接触的两处第二接触位置pb。并且,形成有配置在第二对角线上的两个引导孔206的位置也是第二定位部50接触的两处第二接触位置pb。第一定位部40以及第二定位部50在foup200的上部的四处第二接触位置pb与foup200接触,从而相对于foup200进行高度方向的保持部9的定位。
51.第一接触位置pa是foup200的上部的、用于保持部9的水平方向的定位的接触位置。第二接触位置pb是foup200的上部的保持部9的用于高度方向的定位的接触位置。在本实施方式中,形成有配置在第一对角线上的两个引导孔206的位置是两处第一接触位置pa,并且是两处第二接触位置pb。而且,第一定位部40具有能够分别进入两个引导孔206的两个凸部件41。根据该结构,第一定位部40也能够进行高度方向的保持部9的定位,发挥与第二定位部50相同的功能(起到作用)。
52.即、在本实施方式中,第一定位部40为了进行水平方向的定位,仅在两处第一接触位置pa与foup200接触。另一方面,用于高度方向的定位的第二接触位置pb被设置在四个部位。换言之,夹持器装置10使第一定位部40的凸部件41与作为第一接触位置pa且第二接触位置pb的两处引导孔206接触,由此进行保持部9的水平方向且高度方向的定位。夹持器装置10使第二定位部50的按压部件51与作为第二接触位置pb的两处引导孔206接触,由此进行保持部9的高度方向的定位。第一定位部40在三处以上所需的高度方向的定位中的一部分的位置(在本实施方式中为两个位置),发挥与第二定位部50相同的功能(起到作用)。上述第二接触位置pb没有位于一条直线上。即、即使选择四处第二接触位置pb的任三个,它们也不位于一条直线上。“三处第二接触位置没有位于一条直线上”是指例如在各接触位置的接触部(接触面)具有面积的情况下,连结它们的三个中心点的直线没有成为一条直线状。“三处第二接触位置没有位于一条直线上”是指包含三个中心点的平面唯一确定。
53.以下,对由本实施方式的夹持器装置10以及高架搬运车1进行的foup200的输送方法进行说明。首先,若升降部11来到装载端口300的上方,则控制器8使升降部11下降(下降工序)。在该下降工序中,使升降部11下降直到就座传感器46开启。在下降工序之后,使第一定位部40在foup200的上部的两处第一接触位置pa与foup200接触,从而相对于foup200进行水平方向的保持部9的定位(第一定位工序)。另外,在下降工序之后,第一定位部40以及第二定位部50在foup200的上部的没有位于一条直线上的四处第二接触位置pb与foup200接触,从而相对于foup200进行高度方向的保持部9的定位(第二定位工序)。上述第一定位工序以及第二定位工序大致同时被实施。而且,在上述第一定位工序以及第二定位工序之后,由保持部9保持foup200(保持工序)。
54.参照图6~图10对第一定位工序以及保持工序进行说明。伴随着升降部11的下降,首先,如图6所示,凸部件41进入(插入)引导孔206内。在该时刻,凸部件41的圆锥面部41a开始与引导孔206的周壁面接触。接下来,如图7所示,升降部11以及保持部9进一步下降,就座传感器46开启。在该期间,在位传感器47虽从关闭切换为开启,进而切换为关闭,但就座传感器46保持关闭,所以该在位传感器47的切换被忽略。接下来,如图8所示,在升降部11以及保持部9进一步下降了规定距离的时刻,上述下降停止。通过以上一系列工序,第一定位工序结束。与此同时,第二定位工序也结束。
55.接下来,如图9所示,在就座传感器46开启的状态下,通过驱动部7使指部12移动,并使指部12插入凸缘部202的下方的空间。接着,如图10所示,使升降部11以及保持部9上
升,由指部12保持凸缘部202(foup200)。通过以上的工序,保持工序结束。然后,升降部11以及保持部9上升直至到达框架单元2内。
56.根据本实施方式的夹持器装置10以及上述输送方法,第一定位部40在foup200的上部的两处第一接触位置pa与foup200接触。通过第一定位部40的接触,相对于foup200进行水平方向的保持部9的定位。而且,第一定位部40以及第二定位部50在foup200的上部的至少三处第二接触位置pb(在实施方式中为四个部位)与foup200接触。上述第二接触位置pb没有位于一条直线上,所以通过第一定位部40以及第二定位部50的接触,相对于foup200进行高度方向的保持部9的定位。这样,使用与水平方向有关的两个位置以及与高度方向有关的至少三处接触位置,所以能够准确地进行相对于foup200的水平方向以及高度方向的定位。
57.在第一定位部40在三处以上的第一接触位置与foup200接触的情况下,通过三处中的两处和另一处无法唯一确定水平方向的保持部9的位置,存在产生不匹配的可能性。即、在三处以上的第一接触位置之间可能产生争夺。若将第一接触位置pa仅限制为两个部位,则能够抑制那样的不匹配即争夺。
58.第一定位部40具有能够分别进入两个上述引导孔206的两个凸部件41,从而发挥与第二定位部相同的功能。两处第一接触位置和两处第二接触位置被共用化,由此能够减少用于定位的部件。
59.根据包含水平面部51a的按压部件51,能够准确且容易地进行高度方向的定位。
60.由于将第二接触位置设置在四个部位,所以能够在高度方向上更准确地进行定位。
61.根据高架搬运车1,保持部在相对于foup200准确地进行了定位的状态下,保持foup200。因此,foup200的输送状态能够稳定,由此也能够以高速输送foup200。
62.以上,虽对本发明的实施方式进行了说明,但本发明并不限于上述实施方式。例如,第一接触位置pa以及第二接触位置pb的配置也可以改变为各种方式。如图11的(a)所示,也可以在一个凸缘部202设定两处第一接触位置pa(其中,通过锥形来兼作第二接触位置),在另一个凸缘部202设定两处第二接触位置pb。并不限于上述实施方式那样在对角线上配置相同种类的接触位置的情况,如图11的(b)所示,也可以在第二方向的同侧配置相同种类的接触位置。在该情况下,第一接触位置pa也通过锥形来兼作第二接触位置。如图11的(c)所示,也可以在一个凸缘部202设定两处第一接触位置pa(其中,通过锥形来兼作第二接触位置),在另一个凸缘部202设定一处第二接触位置pb。而且,如图11的(d)所示,也可以在一个凸缘部202设定两处第一接触位置pa(其中,通过锥形来兼作第二接触位置),在另一个凸缘部202设定一处大型(宽范围)的第二接触位置pb。宽范围的第二接触位置pb带来与具有多个第二接触位置pb的情况相同的稳定性。
63.第一定位部以及第二定位部接触的被位置检测部只要设置在物品的上部的适当位置即可。也可以在物品的上表面不设置凸缘部,而在凸缘部以外的部分设置有被位置检测部。被位置检测部能够设定为水平面(与主体201的上表面201a平行的面)。并不限于保持部与凸缘部卡合的情况,保持部也可以与物品的上部(包含侧面)的任意部位卡合。保持部的结构并不限于上述实施方式。保持部的卡合部并不限于从内向外移动的方式。保持部的卡合部也可以从外向内移动。
64.第一定位部以及第二定位部并不限于具备弹簧机构的定位的方式。第一定位部以及第二定位部也可以具备弹簧以外的弹性部件,也可以不具备弹性部件。第一定位部以及第二定位部也可以具备减震器机构。第二定位部也可以是固定了相对于升降部11的位置的平板部件。
65.在上述实施方式中,在第一定位部40设置有传感器(就座传感器46以及在位传感器47)。也可以与该实施方式不同,不在第一定位部40设置传感器,而在第二定位部50设置传感器(例如,与上述实施方式所公开的相同的就座传感器以及在位传感器等)。另外,也可以在第一定位部40以及第二定位部50双方设置上述传感器。即、也可以在升降部11的四角的位置设置上述传感器。
66.在上述实施方式中,设置有贯通凸缘部202的引导孔206。并不限于该实施方式,也可以设置有具有底部(没有贯通凸缘部202)的、锥形的引导孔。另外,并不限于在物品形成圆锥状的引导孔206的实施方式。例如,第一定位部也可以具有圆筒状的凸部件,在物品的上部的任一部位形成有圆柱状的孔部(贯通的孔部)。在该情况下,在第一定位部中无法进行高度方向的定位,所以需要在与两处第一接触位置不同的位置,将至少三处第二接触位置设置于物品。
67.换言之,并不限于第一接触位置兼作第二接触位置的实施方式。也可以个别地设置两处第一接触位置、和三处以上的第二接触位置。或者两处第一接触位置中的一个也可以兼作第二接触位置。即使在任何实施方式中,夹持器装置都与第一接触位置对应地具备第一定位部,与第二接触位置对应地具备第二定位部。在物品中,在某特定的第一接触位置兼作第二接触位置的情况下,在夹持器装置中,与该特定的第一接触位置对应的第一定位部发挥与第二定位部相同的功能。
68.物品并不限于foup200。物品也可以是smif(standard mechanical interface:标准机械接口)pod或者fosb(front opening shipping box:前开装运箱)等。
69.附图标记的说明
[0070]1…
高架搬运车(输送车),7
…
驱动部,9
…
保持部,10
…
夹持器装置,11
…
升降部,12
…
指部,16
…
马达,20
…
连杆机构,40
…
第一定位部,41
…
凸部件,41a
…
圆锥面部,50
…
第二定位部,51
…
按压部件,51a
…
水平面部,200
…
foup(物品),201
…
主体,201a
…
上表面,202
…
凸缘部,202a
…
凸缘上表面(被位置检测部),206
…
引导孔,300
…
装载端口(移载部),pa
…
第一接触位置,pb
…
第二接触位置。
技术特征:1.一种夹持器装置,其保持载置在移载部的物品,其具备:保持部,其安装于能够在上述移载部的上方升降的升降部,并保持上述物品;第一定位部,其安装于上述升降部,通过在上述物品的上部的两处第一接触位置与上述物品接触,而相对于上述物品进行水平方向的上述保持部的定位;以及第二定位部,其安装于上述升降部,通过在上述物品的上部的没有位于一条直线上的三处第二接触位置与上述物品接触,而相对于上述物品进行高度方向的上述保持部的定位。2.根据权利要求1所述的夹持器装置,其中,上述第一定位部仅在两处上述第一接触位置与物品接触。3.根据权利要求1或2所述的夹持器装置,其中,在设置于上述物品的上表面的被位置检测部形成有具有朝向上方开放的开口并且相对于上述开口的高度越低则内径越小的两个锥形的引导孔,形成了两个上述引导孔的位置是两处上述第一接触位置并且是两处上述第二接触位置,上述第一定位部具有能够分别进入两个上述引导孔的两个凸部件。4.根据权利要求1~3中任一项所述的夹持器装置,其中,上述第二定位部具有包含在上述第二接触位置的至少一个与设置于上述物品的上表面的被位置检测部接触的水平面部的至少一个按压部件。5.根据权利要求1~4中任一项所述的夹持器装置,其中,上述第二接触位置设置在四个部位。6.一种输送车,其具备:权利要求1~5中任一项所述的夹持器装置,并沿着设置在天花板的轨道行驶。7.一种输送方法,是用夹持器装置保持并输送载置在移载部的物品的输送方法,上述夹持器装置具备:安装于能够在上述移载部的上方升降的升降部,并保持上述物品的保持部;用于相对于上述物品的水平方向的定位的第一定位部;以及用于相对于上述物品的高度方向的定位的第二定位部,所述输送方法包含以下工序:下降工序,使上述升降部下降;第一定位工序,在上述下降工序之后实施,通过在上述物品的上部的两处第一接触位置使上述第一定位部与上述物品接触,而相对于上述物品进行水平方向的上述保持部的定位;第二定位工序,在上述下降工序之后实施,通过在上述物品的上部的没有位于一条直线上的三处第二接触位置使上述第二定位部与上述物品接触,而相对于上述物品进行高度方向的上述保持部的定位;以及保持工序,在上述第一定位工序以及上述第二定位工序之后实施,由上述保持部保持上述物品。
技术总结本发明涉及夹持器装置、输送车以及输送方法。夹持器装置具备:安装于能够在移载部的上方升降的升降部,并保持物品的保持部;通过在物品的上部的两处第一接触位置与物品接触,而相对于物品进行水平方向的保持部的定位的第一定位部;以及通过在物品的上部的没有位于一条直线上的三处第二接触位置与物品接触,而相对于物品进行高度方向的保持部的定位的第二定位部。定位部。定位部。
技术研发人员:小林诚
受保护的技术使用者:村田机械株式会社
技术研发日:2021.01.27
技术公布日:2022/11/1