1,issue 3,november 1972,pages 244-256doi://10.1016/s0146-664x(72)80017-0
13.非专利文献2：monica laurel kempsell,eric hendrickx,alexander v.tritchkov,kyohei sakajiri,kenichi yasui,susuki yoshitake,yuri granik,geert vandenberghe,and bruce w.smith"inverse lithography for 45-nm-node contact holes at 1.35numerical aperture,"journal of micro/nanolithography,mems,and moems 8(4),043001(1october 2009).doi://10.1117/1.3263702
技术实现要素：14.发明所欲解决的课题
15.如上述非专利文献1所记载的简化方法中，可在人类视觉能够判断仍维持形状的情况下实现简化。然而，该方法并无法严谨地维持用于输入的形成多边形的边的位置或角度。该方法的目的只是「在人类视觉下」看起来经过妥当地简化，对于图形的位置或角度则不太重视。结果，相对于通过进行opc等而期待的成果，所制作的光罩的性能明显变差。这种将二维图形简化的其他公知的算法中，大多是以对人类视觉而言是否妥当作为基准所建构，并无法兼具得到高精确度的曝光图案及使光罩信息的数据大小变小。
16.又，如上述非专利文献2所记载的构成中，亦难以兼具得到高精确度的曝光图案及使光罩信息的数据大小变小。
17.如此，一直以来都有可得到高精确度的曝光图案的光罩信息的数据大小变大的课题。虽然期望缩减光罩信息的数据大小，但通常考虑的方法存在下述的权衡关系：若降低曲线的数据粒度，则制作的光罩的性能变差。需要一种用以消除该权衡关系而兼具数据大小与精确度的光罩图案的简化处理。
18.解决课题的技术方案
19.本案第一发明的光罩信息调整装置，是调整用于制造光罩的光罩信息的光罩信息调整装置，其具备：对象信息取得部，取得包含多边形光罩图案的调整前光罩信息；处理部，取得去除光罩图案的各顶点或边对于曝光图案造成的影响度并将其与顶点或点配对，所述曝光图案是对应光罩图案并使用光罩所生成，依据是否满足与所取得的影响度相关的预定条件来进行各顶点或边的去除，由此将光罩图案简化；及输出部，输出包含通过处理部简化后的光罩图案的调整后光罩信息。
20.通过所述构成，可缩减光罩信息的数据大小，而不会大幅影响曝光图案。
21.又，本案第二发明的光罩信息调整装置中，相对于第一发明，处理部取得光罩图案的全部顶点或全部边各自相应的影响度，并去除所取得的影响度最小的顶点或点。
22.通过所述构成，可使对于曝光图案的影响更小，并且缩减光罩信息的数据大小。
23.又，本案第三发明的光罩信息调整装置中，相对于第一发明，处理部进行光罩图案的一个顶点或边的去除，并取得去除一个顶点或边之后的光罩图案中去除各顶点或边所造成的影响度，在不满足预先规定的结束条件的情况下，根据所取得的各影响度进一步去除光罩图案的一顶点或边，在满足预先规定的结束条件的情况下，则结束光罩图案的简化。
24.通过所述构成，针对进行去除后的光罩图案进一步取得影响度与进行顶点或边的去除，故可有效地缩减光罩信息的数据大小。
25.又，本案第四发明的光罩信息调整装置中，相对于第三发明，处理部在针对去除一
顶点或边之后的光罩图案取得影响度后，将所取得的各影响度与预定阈值进行比较，在比较结果满足结束条件的情况下，结束光罩图案的简化。
26.通过所述构成，可有效地缩减光罩信息的数据大小，而不会大幅影响曝光图案。
27.又，本案第五发明的光罩信息调整装置中，相对于第一发明，处理部针对光罩图案的各顶点或边，取得与删除该顶点或边所导致的光罩图案的面积变化量对应的值作为影响度。
28.通过所述构成，可缩减光罩信息的数据大小，以使光罩图案的简化对曝光图案造成的影响变小。
29.又，本案第六发明的光罩信息调整装置中，相对于第一发明，处理部针对构成光罩图案的一个边，取得由边与半直线所形成的三角形的面积作为影响度，所述半直线包含邻接于边的邻边并且以与边共有的顶点不同的顶点作为基点。
30.通过所述构成，可缩减光罩信息的数据大小，以使光罩图案的简化对曝光图案造成的影响变小。
31.又，本案第七发明的光罩信息调整装置中，相对于第一发明，处理部在将构成光罩图案的一个边去除时，将半直线彼此的交点作为去除边后的光罩图案中的顶点，所述半直线分别包含邻接于边的邻边并且以与边共有的顶点不同的顶点作为基点。
32.通过所述构成，可有效地缩减光罩信息的数据大小，而不会大幅影响曝光图案。
33.又，本案第八发明的光罩信息调整装置中，相对于第一发明，处理部针对构成光罩图案的一个顶点，在由共有顶点的两个边与两条半直线所形成的四边形不是凹四边形的情况下，取得该四边形的面积作为影响度，所述两条半直线包含分别邻接于两个边的邻边并且分别以与邻接于顶点的邻接顶点不同的顶点作为基点。
34.通过所述构成，可缩减光罩信息的数据大小，以使光罩图案的简化对曝光图案造成的影响变小。
35.又，本案第九发明的光罩信息调整装置中，相对于第一发明，处理部在将构成光罩图案的一个顶点去除时，在由共有顶点的两个边与两条半直线所形成的四边形不是凹四边形的情况下，将半直线彼此的交点作为去除后的光罩图案中的顶点，所述两条半直线包含分别邻接于两条边的邻边并且分别以与邻接于顶点的邻接顶点不同的顶点作为基点。
36.通过所述构成，可有效地缩减光罩信息的数据大小，而不会大幅影响曝光图案。
37.又，本案第十发明的光罩信息调整装置中，相对于第一发明，处理部针对构成光罩图案的一个顶点，在由共有顶点的两个边与两条半直线所形成的四边形为凹四边形的情况下，取得由共有该顶点的两个边与两个邻接顶点彼此连结成的线段所形成的三角形的面积作为影响度，所述两条半直线包含分别邻接于两条边的邻边并且分别以与邻接于顶点的邻接顶点不同的顶点作为基点。
38.通过所述构成，可缩减光罩信息的数据大小，以使光罩图案的简化对曝光图案造成的影响变小。
39.又，本案第十一发明的光罩信息调整装置中，相对于第一发明，处理部在将构成光罩图案的一个顶点去除时，在由共有顶点的两个边与两条半直线所形成的四边形为凹四边形的情况下，将位于两条半直线之中一条的第一点与位于另一条的第二点作为去除后的光罩图案中的顶点，所述两条半直线包含分别邻接于两个边的邻边并且分别以与邻接于顶点
的邻接顶点不同的顶点作为基点；第一点与第二点位于下述四边形的面积与下述三角形的面积相等的位置：所述四边形是由第一点与第二点连结成的线段、邻接顶点彼此连结成的线段及两条半直线所形成，所述三角形是由共有该顶点的两个边与将两个邻接顶点彼此连结成的线段所形成。
40.通过所述构成，可有效地缩减光罩信息的数据大小，而不会大幅影响曝光图案。
41.又，本案第十二发明的光罩信息调整装置中，相对于第一发明，调整前光罩信息包含通过opc(光学邻近修正)所生成的光罩图案。
42.通过所述构成，可缩减得到高精确度的曝光图案的光罩信息的数据大小。
43.又，本案第十三发明的光罩信息调整装置中，相对于第一发明，对象信息取得部取得与作为目标的曝光图案对应的目标光罩图案，并根据所取得的目标光罩图案，取得调整前光罩信息。
44.通过所述构成，可缩减得到高精确度的曝光图案的光罩信息的数据大小。
45.又，本案第十四发明的光罩信息调整装置中，相对于第一发明，进一步具备准备部，根据由输出部输出的调整后光罩信息来执行光罩数据准备。
46.通过所述构成，由于使用数据大小较小的调整后光罩信息，故可提升光罩的制造效率。
47.发明效果
48.根据本发明的光罩信息调整装置，可缩减光罩信息的数据大小，而不会大幅影响曝光图案。
附图说明
49.图1是显示本实施方式中的光罩制造系统的概略构成的图；
50.图2是该光罩信息调整装置的方块图；
51.图3是该光罩制造系统的方块图；
52.图4是针对该光罩信息调整装置中一个边相应的影响度的取得及该边的去除进行说明的第1图；
53.图5是针对该光罩信息调整装置中一个边相应的影响度的取得及该边的去除进行说明的第2图；
54.图6是针对该光罩信息调整装置中一个边相应的影响度的取得及该边的去除进行说明的第3图；
55.图7是针对该光罩信息调整装置中一个顶点相应的影响度的取得及该顶点的去除进行说明的第1图；
56.图8是针对该光罩信息调整装置中一个顶点相应的影响度的取得及该顶点的去除进行说明的第2图；
57.图9是针对该光罩信息调整装置中一个顶点相应的影响度的取得及该顶点的去除进行说明的第3图；
58.图10是显示该光罩信息设计装置的运作的一例的流程图；
59.图11是显示该光罩信息调整装置的运作的一例的流程图；
60.图12是显示该光罩信息调整装置的简化处理的一例的流程图；
61.图13是显示该光罩信息转换装置的运作的一例的流程图；
62.图14是显示该光罩信息调整装置的简化处理的一例的第1图；
63.图15是显示该光罩信息调整装置的简化处理的一例的第2图；
64.图16是显示该光罩信息调整装置的简化处理的一例的第3图；
65.图17是显示该光罩信息调整装置的简化处理的一例的第4图；
66.图18是关于该光罩信息调整装置的简化处理结果的图表；
67.图19是上述实施方式中的计算机系统的概观图；
68.图20是该计算机系统的方块图。
具体实施方式
69.以下，参照图式对光罩信息调整装置等的实施方式进行说明。此外，在实施方式中标注相同符号的构成要件是进行同样的运作，因此会有省略再次说明的情况。
70.此外，以下使用的用语，一般定义如下。此外，这些用语的语义不应恒常地解释为此处所示的意义，例如在以下个别说明的情况下，亦应以该说明为依据来解释。
71.所谓取得，可包含取得通过用户等所输入的事项，亦可包含取得装置本身或其他装置中所存储的信息(可为预先存储的信息，亦可为通过在该装置中进行信息处理所生成的信息)。
72.所谓输出信息，是包含显示于显示器、使用投影机的投影、以打印机进行的打印、声音输出、传送至外部装置、留存于记录媒体、将处理结果转移至其他处理装置或其他程序等的概念。
73.所谓信息的受理，是包含从键盘、鼠标、触控面板等输入设备所输入的信息的受理、透过有线或无线的通信线路从其他装置等传来的信息的接收、从光盘、磁盘、半导体内存等记录媒体所读取的信息的受理等的概念。
74.(实施方式)
75.对本实施方式的概要进行说明。在本实施方式中，光罩信息调整装置1是调整用于制造光罩的光罩信息的装置。光罩信息调整装置1以下述方式而构成：针对多边形的调整前光罩图案取得关于去除顶点或边的影响度，且依据所取得的影响度是否满足预定条件来进行各顶点或边的去除，由此将调整前光罩图案简化，并输出包含简化后的调整后光罩图案的调整后光罩信息。
76.此外，在本实施方式中，影响度例如可为与因删除各顶点或边而变化的面积对应的值。更具体而言，例如，一个边相应的影响度可为以该边与半直线所形成的三角形的面积，所述半直线包含邻接于该边的邻边并且以与该边共有的顶点不同的顶点作为基点。又，例如，一个顶点相应的影响度，在以共有该顶点的两个边与两条半直线所形成的四边形不是凹四边形的情况下，可为与所述四边形的面积对应的值。又，例如，一个顶点相应的影响度，在上述四边形为凹四边形的情况下，可为与三角形的面积对应的值，所述三角形是由共有该顶点的两个边与将两个邻接顶点彼此连结成的线段所形成。
77.又，在本实施方式中，在去除一个边的情况下，可将上述半直线彼此的交点作为去除后的光罩图案中的顶点。又，在去除一个顶点的情况，于四边形不是凹四边形的情况下，可将上述半直线彼此的交点作为去除后的光罩图案中的顶点。另一方面，在去除一个顶点
的情况，于四边形为凹四边形的情况下，可将位于两条半直线之中一条的第一点与位于另一条的第二点作为去除后的光罩图案中的顶点。
78.再者，在本实施方式中，调整前光罩信息亦可包含例如通过opc所生成的调整前光罩图案、亦即与作为目标的曝光图案对应的光罩图案。换言之，光罩信息调整装置1例如亦可以下述方式而构成：取得包含与已通过opc等优化的光罩图案对应的多边形的调整前光罩图案(可为通过opc进行优化而成者本身，亦可为将通过ilt等所得到的曲线的光罩图案近似成多边形而成者)的调整前光罩信息，并进行简化。
79.以下对包含以此方式所构成的光罩信息调整装置1的光罩制造系统900的构成进行说明。
80.图1是显示本实施方式中的光罩制造系统900的概略构成的图。
81.如图1所示，在本实施方式中，光罩制造系统900具备光罩信息调整装置1、光罩信息设计装置200、光罩信息转换装置300及光罩描绘装置501。光罩制造系统900用于制造光罩。各装置透过例如lan或因特网等网络连接而可通信，但并不限定于此。
82.光罩信息设计装置200是在进行集成电路的逻辑设计、物理设计后使用。光罩信息设计装置200是根据集成电路的物理设计数据，生成用以制造光罩的光罩信息并输出。此处将输出的光罩信息称为调整前光罩信息。此外，集成电路的物理设计数据(电路图案)可为在使用通过光罩制造系统900所制造的光罩的曝光工序中实现的理想的曝光图案。光罩信息设计装置200通过例如opc或ilt等的方法，以得到理想的曝光图案的方式生成优化的光罩图案。然后，将生成的光罩图案，或将与其对应的光罩图案即包含多边形的光罩图案的调整前光罩信息输出。此外，不限制优化的程度。又，在本实施方式中，亦可从光罩信息设计装置200输出包含以曲线所构成的光罩图案的光罩信息，并转换成包含以光罩信息调整装置1进行多边形化而成的光罩图案的调整前光罩信息。
83.在本实施方式中，光罩信息调整装置1取得从光罩信息设计装置200传来的调整前光罩信息。然后，光罩信息调整装置1对调整前光罩信息的光罩图案进行简化处理，并输出包含简化后的光罩图案的调整后光罩信息。通过简化，多边形光罩图案的顶点总数减少。
84.光罩信息转换装置300取得从光罩信息调整装置1传来的调整后光罩信息。然后，光罩信息转换装置300根据调整后光罩信息，执行光罩数据准备(mdp，mask data preparation)。光罩数据准备中，例如，进行光罩的编排、数据制成及在后续工序可应用的数据形式的转换等。然后，光罩信息转换装置300将经由光罩数据准备所生成的光罩描绘数据输出。
85.光罩描绘装置501是光罩制程所包含的装置。光罩描绘装置501具有公知的构成，依照从光罩信息转换装置300传来的光罩描绘数据，将简化的光罩图案等以光束描绘至光罩用原板。之后，在光罩制程中，经由显影、蚀刻及剥除等的各工序制造光罩。
86.图2是该光罩信息调整装置1的方块图。图3是该同光罩制造系统900的方块图。
87.如图2所示，光罩信息调整装置1具备：存储部110、接收部120、受理部130、处理部140、输出部160及传送部170。光罩信息调整装置1例如是具有一般构成的服务器装置，但并不限定于此，可为其他形态的电子计算器，亦可为多个装置互相连接而实现的装置。
88.存储部110宜为非挥发性的记录媒体，但亦能够以挥发性的记录媒体来实现。存储部110中存储有各种信息或程序等。在本实施方式中，于存储部110所存储的程序中规定了
下述简化处理中使用的与是否去除光罩图案的边或顶点相关的预定条件(有时称为去除条件)。又，同样规定了预定的结束条件。结束条件是如下所述的处理部140执行处理时所使用的条件，在本实施方式中，例如是关于针对各顶点或边而取得的影响度与预定阈值的比较结果。此外，结束条件例如亦可为与影响度以外的因素相关而定义的条件，例如仅以预先决定的次数(与去除任一顶点或边相关的处理的循环次数到达预定次数(n))进行任一顶点或边的去除等。
89.接收部120接收从其他装置传来的信息。接收部120将所接收的信息保存于例如存储部110。在本实施方式中，例如，接收从光罩信息设计装置200传来的调整前光罩信息。
90.受理部130受理使用与光罩信息调整装置1连接的图中未显示的输入手段而输入的信息。受理部130将受理的信息保存于例如存储部110。此外，输入手段亦可为利用数字小键盘、键盘、鼠标及选单页面进行等的任一种。受理部130亦可受理通过使用与光罩信息调整装置1连接的读取装置(例如编码读取装置等)所进行的输入操作(例如，亦包含通过装置所读取的信息)而输入的信息。
91.处理部140具备：对象信息取得部141、影响度取得部143及去除部145。处理部140进行各种处理。所谓各种处理，例如以下所述，是处理部140的各部所进行的处理。
92.对象信息取得部141取得保存于存储部110的包含多边形光罩图案的调整前光罩信息。调整前光罩信息所包含的多边形光罩图案为简化的处理对象。此外，在光罩信息调整装置1从光罩信息设计装置200取得包含曲线的光罩图案的光罩信息时，对象信息取得部141亦可为以下述方式所构成：执行将该曲线的光罩图案近似成多边形光罩图案的处理，由此取得包含作为处理对象的光罩图案的调整前光罩信息。
93.在本实施方式中，如下所述，影响度取得部143取得关于去除作为处理对象的多边形光罩图案的各顶点或边的影响度。影响度取得部143取得各影响度并将其与顶点或边配对。具体而言，将识别各顶点或边的标识符与所取得的影响度配对并存储于存储部110，由此可取得各影响度，但除此以外亦可采用各种方法。
94.此外，在本实施方式中，影响度是表示去除光罩图案的各顶点或边对于使用与该光罩图案对应的光罩所生成的曝光图案造成的影响的程度。关于影响度的取得于以下叙述。
95.去除部145根据通过影响度取得部143所取得的各影响度，进行顶点或边的去除。在本实施方式中，去除部145判断是否满足与通过影响度取得部143所取得的各影响度相关的预定去除条件。然后，去除部145依据是否满足去除条件的判断结果进行各顶点或边的去除，由此将光罩图案简化。又，去除部145根据通过影响度取得部143所取得的各影响度，判断是否满足预定结束条件。去除部145在满足预定结束条件的情况下，不进行各顶点或边的去除，并结束光罩图案的简化。
96.于此处，在本实施方式中，所谓与所取得的影响度相关的预定去除条件，可为关于各顶点或边的影响度与其他顶点或边的影响度的关系的条件。具体而言，例如可将针对各顶点或边所取得的影响度之中影响度最小的情况作为去除该顶点或边的条件。换言之，可为下述条件：该顶点或边的影响度大于其他任一顶点或边的影响度的情况，则不会选定该顶点或边作为去除对象。此外，亦可选定影响度最小的两个以上的预定数量的顶点或边作为一次去除的对象，以此方式来设定去除条件。
97.又，在本实施方式中，在所取得的各影响度皆大于预定阈值的状态下，判断满足预定结束条件。亦即，在将针对各顶点或边所取得的影响度与预定阈值比较时，可以将任一顶点及点相应的影响度皆大于预定阈值的情况视为预定结束条件。
98.此外，可解释成去除条件中包含结束条件，亦可解释成去除条件与结束条件为不同的条件。
99.更具体而言，在本实施方式中，处理部140进行下述处理。亦即，影响度取得部143针对作为处理对象的多边形光罩图案取得全部顶点或全部边各自相应的影响度。去除部145判断针对各顶点或边所取得的影响度与预定阈值的比较结果是否满足预定结束条件。不满足结束条件时，去除部145去除所取得的影响度最小的顶点或点，亦即进行满足去除条件的顶点或点的去除。由此，生成进行去除后的光罩图案。如此，影响度取得部143针对进行去除后的光罩图案取得全部顶点或全部边各自相应的影响度。然后，去除部145进行关于结束条件的判断，在不满足结束条件时，去除所取得的影响度最小的顶点或点，亦即进行满足去除条件的顶点或点的去除。由此，生成进一步进行去除后的光罩图案。如此，通过处理部140重复进行全部顶点或全部边各自相应的影响度的取得与一顶点或边的去除，直到满足结束条件为止。
100.总结以上内容，在本实施方式中，处理部140进行光罩图案的一个顶点或边的去除，并取得进行一个顶点或边的去除之后的光罩图案中去除各顶点或边所造成的影响度。处理部140在不满足预先规定的结束条件时，依据所取得的各影响度是否满足去除条件，进一步进行光罩图案的一个顶点或边的去除。另一方面，处理部140在满足结束条件时，结束光罩图案的简化。更具体而言，处理部140在针对进行一个顶点或边的去除之后的光罩图案取得影响度后，将所取得的各影响度与预定阈值进行比较。处理部140在比较结果满足预定结束条件时结束光罩图案的简化。
101.输出部160通过使用传送部170等将信息传送至其他装置来输出信息。此外，输出方法并不限定于此，例如亦可通过在设置于光罩信息调整装置1的显示设备中显示信息等来输出信息。又，亦可构成为将信息存储于存储部110等，以便在光罩信息调整装置1内通过处理部140进行处理的形态。此外，可认为输出部160包含显示器或扬声器等输出组件，亦可认为不包含。输出部160可利用输出组件的驱动软件或输出组件的驱动软件与输出装置等实现。
102.在本实施方式中，输出部160输出包含通过处理部140简化后的光罩图案的调整后光罩信息。
103.传送部170透过网络等将信息传送至构成光罩信息调整装置1的其他装置。传送部170例如进行对光罩信息转换装置300或其他装置输出的信息的传送。
104.接着，针对光罩信息设计装置200及光罩信息转换装置300的构成进行说明。
105.光罩信息设计装置200或光罩信息转换装置300例如是具有一般构成的服务器装置，但并不限定于此，可为其他形态的电子计算器，亦可为多个装置互相连接而实现的装置。光罩信息设计装置200或光罩信息转换装置300构成可连接网络而能够在与连接于网络的其他装置之间进行通信的形态。
106.如图3所示，光罩信息设计装置200具备第二存储部210、第二处理部240及第二传送部270。第二存储部210中存储有各种信息或程序等。
107.第二处理部240具备：目标曝光图案取得部241、光罩图案生成部243及光罩图案转换部245。如下所示，在本实施方式中，第二处理部240取得与作为目标的曝光图案对应的目标光罩图案。第二处理部240根据所取得的目标光罩图案，取得包含多边形光罩图案的调整前光罩信息。
108.目标曝光图案取得部241取得显示曝光图案的信息，该曝光图案是预期可使用通过光罩制造系统900所制造的光罩而取得。换言之，目标曝光图案取得部241取得显示作为目标的曝光图案的信息。在本实施方式中，作为目标的曝光图案与所设计的电路图案(使用光罩的半导体组件制程)相同，但并不限定于此。
109.光罩图案生成部243根据通过目标曝光图案取得部241所取得的作为目标的曝光图案，生成与作为目标的曝光图案对应的目标光罩图案。在本实施方式中，目标光罩图案是为了得到作为目标的曝光图案而使用公知的opc技术进行优化后的理想光罩图案。具体而言，例如，光罩图案生成部243是使用公知的ilt方式，生成与作为目标的曝光图案对应的理想光罩图案。这种理想光罩图案包含曲线。
110.光罩图案转换部245将通过光罩图案生成部243生成的目标光罩图案转换成多边形的光罩图案。由此，第二处理部240取得包含多边形光罩图案的调整前光罩信息。多边形的光罩图案是以与作为目标的曝光图案对应的方式进行近似而成，其具有较多顶点及边。
111.第二传送部270透过网络等将信息传送至构成光罩信息调整装置1的其他装置。在本实施方式中，第二传送部270将包含通过光罩图案转换部245转换而成的多边形光罩图案的调整前光罩信息传送至光罩信息调整装置1。
112.光罩信息转换装置300具备：第三存储部310、第三接收部320、第三处理部340及第三传送部370。第三存储部310中存储有各种信息或程序等。
113.第三接收部320透过网络接收从光罩信息调整装置1传来的调整后光罩信息等的信息。第三接收部320是设定为可将所接收的信息留存于例如第三存储部310，以用于第三处理部340等的处理。
114.第三处理部340具备准备部341。第三处理部340进行各种处理。
115.准备部341根据以光罩信息调整装置1所输出的调整后光罩信息，执行如上述的光罩数据准备。由此，例如，生成光罩描绘数据等。
116.第三传送部370将通过光罩数据准备所生成的光罩描绘数据传送至光罩描绘装置501。由此，在光罩描绘装置501中，能够将光束照射成与简化的光罩图案对应的形状。
117.此外，上述处理部140、第二处理部240、第三处理部340通常可由mpu或内存等来实现。处理部140、第二处理部240、第三处理部340的处理顺序通常是以软件来实现，该软件是记录于rom等的记录媒体。但是，亦可利用硬件(专用电路)来实现。
118.又，接收部120或第三接收部320通常是以无线或有线的通信手段来实现，但也能以接收传播的手段来实现。
119.又，传送部170、第二传送部270、第三传送部370通常是以无线或有线的通信手段来实现，但也能以传播手段来实现。
120.光罩信息调整装置1、光罩信息设计装置200及光罩信息转换装置300分别可通过1个服务器所构成，亦可由互相联结而运作的多个服务器所构成，亦可为其他设备中内建的电子计算器等。此外，服务器可为所谓的云端服务器，亦可为asp服务器等，其种类当然并不
限定。
121.于此处，在本实施方式中，可以说影响度取得部143针对光罩图案的各顶点或边取得与删除顶点或边所导致的光罩图案面积的变化量对应的值作为影响度。具体而言，分别以下述方式取得构成光罩图案的一个边相应的影响度及构成光罩图案的一个顶点相应的影响度。
122.在本实施方式中，影响度取得部143针对构成光罩图案的一个边，取得由边与半直线所形成的三角形的面积作为影响度，所述半直线包含连接于边的邻边并且以与边共有的顶点不同的顶点作为基点。
123.图4是针对该光罩信息调整装置1中的一个边相应的影响度的取得及该边的去除进行说明的第1图。
124.图4中显示了形成多边形光罩图案的一部分的一系列顶点。将一系列顶点命名为l-p-q-r。于此处，着眼于以虚线表示的边pq时，取得由边pq、半直线qr及半直线pl所形成的三角形pqm的面积(图中标注影线而显示的部位的面积)作为影响度。于此处，半直线qr及半直线pl分别包含邻接于边pq的邻边lp、邻边qr，且分别以与边pq共有的顶点p、q不同的顶点l、r作为基点。于此处，三角形pqm的顶点m是将邻边lp延长的半直线pl与将邻边qr延长的半直线qr的交点。
125.此外，将这样的边pq去除时，去除后的光罩图案的该部分变成由半直线pl、半直线qr及顶点m所构成的形状。去除部145在将构成光罩图案的一个边pq去除时，将分别包含邻接于边pq的邻边lp、邻边qr且分别以与边pq共有的顶点p、q不同的顶点l、r作为基点的半直线qr与半直线pl的交点m作为去除边pq后的光罩图案中的顶点。由此，可以说去除后的光罩图案之该部分的一系列顶点变成l-m-r。
126.图5是针对该光罩信息调整装置1中一个边相应的影响度的取得及该边的去除进行说明的第2图。
127.在具有连接如图5所示的一系列顶点l-p-q-r的形状的部位中，关于边pq相应的影响度的取得或该边的去除，可与上述相同地进行说明。亦即，此情况下，亦可取得三角形pqm的面积作为边pq相应的影响度。又，去除边pq时，去除后的光罩图案的该部分的一系列顶点变成l-m-r。
128.图6是针对该光罩信息调整装置1中一个边相应的影响度的取得及该边的去除进行说明的第3图。
129.此外，视光罩图案的形状，也可能会出现如图6所示的情况。亦即，具有一系列顶点l-p-q-r而着眼于边pq时，半直线pl与半直线qr可能不相交，所述半直线pl包含邻接于边pq的一个邻边lp且以与边pq共有的顶点p不同的顶点l作为基点，所述半直线qr包含邻接于边pq的另一个邻边qr且以与边pq共有的顶点q不同的顶点r作为基点。如此，边pq、半直线qr及半直线pl未形成三角形时，只要解释成影响度无限大即可。亦即，这样的情况下，边pq不会成为去除对象。
130.又，在本实施方式中，影响度取得部143依据由共有该顶点的两个边与两条半直线所形成的四边形(以下简称为与顶点对应的注目四边形)是否为凹四边形(具有一个内角的大小超过180度这种顶点的四边形)，而取得构成光罩图案的一个顶点相应的影响度，所述两条半直线包含分别邻接于两个边的邻边并且分别以与邻接于顶点的邻接顶点不同的顶
点作为基点。亦即，影响度取得部143在与该顶点对应的注目四边形不是凹四边形的情况下，取得注目四边形的面积作为影响度。另一方面，影响度取得部143在与该顶点对应的注目四边形为凹四边形的情况下，取得由共有该顶点的两个边与两个邻接顶点彼此连结成的线段所形成的三角形的面积作为影响度。
131.此外，注目四边形不是凹四边形，可以说与注目四边形的两条对角线彼此相交的情况相同。亦即，影响度取得部143可依据注目四边形的两条对角线是否彼此相交，而取得该顶点相应的影响度。
132.又，针对一个顶点而言，有时包含邻边并且分别以与邻接于顶点之邻接顶点不同的顶点作为基点的两条半直线彼此不相交。这样的情况下，不会形成注目四边形。如此，两条半直线彼此不相交而不形成注目四边形时，只要解释成影响度无限大即可。亦即，这样的情况下，该顶点不会成为去除对象。
133.图7是针对该光罩信息调整装置1中一个顶点相应的影响度的取得及该顶点的去除进行说明的第1图。
134.图7中显示了形成多边形光罩图案的一部分的一系列顶点。将一系列顶点命名为k-l-p-q-r。于此处，着眼于顶点p。此情况下，将邻接于顶点p的顶点l及顶点q称为邻接顶点。与顶点p对应的注目四边形变成由共有顶点p的边pl及边pq(以虚线显示)、包含邻接于边pl的邻边kl且以与邻接顶点l不同的顶点k作为基点的半直线lk、以及包含邻接于边pq的邻边qr且以与邻接顶点q不同的顶点r作为基点的半直线qr所形成的四边形pqml(图中标注影线显示)。此处，注目四边形pqml的顶点m是半直线lk与半直线qr的交点。
135.如图7所示的情况下，注目四边形pqml不是凹四边形。亦即，注目四边形pqml的对角线pm与对角线ql相交。因此，取得注目四边形pqml的面积作为影响度。
136.此外，去除这种顶点p时，去除后的光罩图案的该部分变成以半直线lk、半直线qr及顶点m所构成的形状。亦即，去除部145在将构成光罩图案的一个顶点p去除时，注目四边形pqml不是凹四边形的情况下，将半直线lk与半直线qr的交点m作为去除后的光罩图案中的顶点。由此，可以说去除后的光罩图案的该部分的一系列顶点变成k-m-r。
137.图8是针对该光罩信息调整装置1中一个顶点相应的影响度的取得及该顶点的去除进行说明的第2图。
138.在具有如图8所示的一系列顶点k-l-p-q-r所连成的形状的部位中，关于顶点p相应的影响度的取得或该边的去除，可与上述相同地进行说明。亦即，在此情况下，作为注目四边形的四边形pqml不是凹四边形。因此，针对顶点p取得注目四边形pqml的面积作为影响度。又，去除顶点p时，去除后的光罩图案的该部分的一系列顶点变成k-m-r。
139.图9是针对该光罩信息调整装置1中一个顶点相应的影响度的取得及该顶点的去除进行说明的第3图。
140.在如图9中所示的形成多边形光罩图案的一部分的一系列顶点k-l-p-q-r中，着眼于顶点p。此情况下，四边形pqml成为注目四边形。图9中所示的注目四边形pqml为凹四边形。亦即，注目四边形pqml的对角线pm与对角线ql不相交。如此，注目四边形pqml为凹四边形的情况下，取得三角形pql的面积(图中标注影线而显示的部位的面积)作为影响度，所述三角形pql是由包含顶点p的边pl及边pq与2个邻接顶点l、q彼此连结成的线段lq所形成。
141.此外，在本实施方式中，去除部145将这种构成光罩图案的一个顶点p去除的情况
下，在去除后的光罩图案的该部分中，将位于2条半直线之中一条半直线lk的第一点l’与位于另一条半直线qr的第二点q’作为去除后的光罩图案中的顶点为优选。此情况下，只要使去除后的光罩图案的该部分的一系列顶点为k-l
’‑q’‑
r即可。此情况下，优选为以使四边形ll’q’q的面积与三角形pql的面积相等的方式来设定第一点l’与第二点q’各自的位置，所述四边形ll’q’q是由第一点l’与第二点q’连结成的线段l’q’、邻接顶点l、q彼此连结成的线段lq、以及半直线lk及半直线qr所形成。如此，将第一点l’与第二点q’作为去除后的光罩图案中的顶点，由此可降低顶点去除的影响。
142.此外，去除部145在将这种构成光罩图案的一个顶点p去除时，注目四边形pqml为凹四边形的情况下，亦可使去除顶点p后的光罩图案的该部分的一系列顶点为k-l-q-r。
143.此外，如图9所示，注目四边形pqml为凹四边形时，分别将从顶点p、顶点m到直线lq的垂直线的交点设为s、t。顶点s、t不存在于线段lq上的情况下，则不去除顶点p。又，线段mt比线段ps短的情况下，亦不去除顶点p。这样的情况下，只要解释成影响度无限大即可。
144.以下针对在光罩信息设计装置200、光罩信息调整装置1及光罩信息转换装置300中进行的处理流程的一例进行说明。
145.图10是显示该光罩信息设计装置200的运作的一例的流程图。
146.(工序s11)目标曝光图案取得部241取得显示作为目标之目标曝光图案的信息。
147.(工序s12)光罩图案生成部243通过进行opc等，取得与目标曝光图案对应的目标光罩图案。
148.(工序s13)光罩图案转换部245将所取得的光罩图案转换成多边形的光罩图案。由此，第二处理部240取得包含多边形光罩图案的调整前光罩信息。
149.(工序s14)第二传送部270输出包含多边形光罩图案的调整前光罩信息。亦即，第二传送部270将调整前光罩信息传送至光罩信息调整装置1。
150.图11是显示该光罩信息调整装置1的运作的一例的流程图。
151.(工序s31)对象信息取得部141取得包含多边形光罩图案的调整前光罩信息。调整前光罩信息例如通过接收部120进行接收，并存储于存储部110。
152.(工序s32)影响度取得部143取得作为处理对象的多边形光罩图案的各顶点或边相应的影响度。如上所述，取得影响度的方法中，顶点相应的影响度与边相应的影响度不同，又，取得顶点相应的影响度的方法中，根据注目四边形是否为凹四边形而有所不同，但此处省略说明。此外，影响度取得部143在进行工序s32的次数为第2次以后的情况下，可仅取得从前次取得影响度时影响度随着光罩图案的形状变化而变化的顶点或边相应的影响度，亦可在每次进行工序s32时取得全部顶点或边相应的影响度。
153.(工序s33)去除部145将针对各顶点或边将所取得的影响度与预定阈值进行比较。
154.(工序s34)去除部145判断比较结果是否满足预定结束条件。在本实施方式中，去除部145判断任一顶点及点相应的影响度是否皆大于预定阈值(是否有小于预定阈值的影响度的顶点或点)。在判断比较结果满足预定结束条件的情况下，进入工序s36。并非此情况则进入工序s35。
155.(工序s35)去除部145进行简化处理。关于简化处理的流程，于以下叙述。之后，回到工序s32。
156.(工序s36)输出部160输出包含通过处理部140简化后的光罩图案的调整后光罩信
息。由此，将调整后光罩信息传送至光罩信息转换装置300。
157.图12是显示该光罩信息调整装置1的简化处理的一例的流程图。
158.(工序s101)去除部145针对作为处理对象的光罩图案，判断影响度最小者是否为顶点相应的影响度。最小的影响度为顶点的情况下，进入工序s102。并非此情况亦即边相应的影响度最小的情况下，则进入工序s105。
159.(工序s102)去除部145开始用以将影响度最小的顶点去除的处理。亦即，去除部145首先判断与影响度最小的顶点相关的注目四边形是否为凹四边形。注目四边形为凹四边形的情况下，进入工序s103。并非此情况则进入工序s104。
160.(工序s103)如上所述，去除部145将位于两条半直线之中一条的第一点与位于另一条的第二点作为顶点，生成将影响度最小的顶点去除后的光罩图案。
161.(工序s104)另一方面，如上所述，去除部145将两条半直线彼此的交点作为顶点，生成将影响度最小的顶点去除后的光罩图案。
162.若以此方式去除影响度最小的顶点，则回到图11的处理。
163.(工序s105)去除部145进行用以将影响度最小的边去除的处理。亦即，去除部145将分别包含与影响度最小的边邻接的邻边并且以与该边共有的顶点不同的顶点作为基点的半直线彼此的交点作为顶点，生成将影响度最小的边去除后的光罩图案。
164.若以此方式去除影响度最小的边，则回到图11的处理。
165.图13是显示该光罩信息转换装置300的运作的一例的流程图。
166.(工序s71)第三处理部340取得调整后光罩信息。调整后光罩信息例如是通过第三接收部320进行接收，并存储于第三存储部310。
167.(工序s72)准备部341根据调整后光罩信息执行光罩数据准备。
168.(工序s73)第三传送部370将通过光罩数据准备所生成的光罩描绘数据传送至光罩描绘装置501。
169.若进行这种处理，则可使用光罩描绘数据，开始光罩描绘装置501所进行的工序。
170.以下针对以本实施方式的方法简化光罩图案的例子进行说明。
171.图14是显示该光罩信息调整装置1的简化处理的一例的第1图。
172.首先，计算光罩图案(为了例示而显示1个多边形)中的全部边与顶点相应的影响度。在图14中，将针对光罩图案的各顶点与各边所取得的影响度显示于该顶点或边的旁边作为一例。
173.接着，将光罩图案中的全部边与顶点之中影响度最小者去除，亦即将边a(影响度＝1.7)去除。针对边a周边的顶点及边，分别如图所示进行命名。
174.图15是显示该光罩信息调整装置1的简化处理的一例的第2图。
175.在图15中，放大显示图14中的边a的周边部。去除边a时，半直线eg与半直线bd的交点m成为新顶点。结果，边a及其两边的顶点b及顶点e消失。
176.图16是显示该光罩信息调整装置1的简化处理的一例的第3图。
177.如图16所示，以此方式将原本的边a与顶点b及顶点e一同去除时，半直线eg与半直线bd的交点成为新的顶点a’。将连结顶点a’与顶点d的线段a’d表示为边c’，将连结顶点a’与顶点g的线段a’g表示为边f’。若以此方式去除后的光罩图案的形状发生变化，则去除前的边c及边f以及位于其前端的顶点d及顶点g的影响度发生变化。再次取得该变化的影响度
的状态显示于图16。
178.在这种去除后的光罩图案中，影响度最小的变成边h(影响度＝2.0)。此情况下，去除边h，并再次取得去除后的周边的影响度。如此，在本实施方式中，从影响度最小者依序重复进行去除与再次取得周边影响度。然后，光罩图案中的边或顶点相应的影响度全部变成固定值以上时，结束简化处理。
179.图17是显示该光罩信息调整装置1的简化处理的一例的第4图。
180.在图17中，显示全部边及顶点相应的影响度变成4以上的状态。在将光罩图案中的边或顶点相应的影响度全部变为4以上作为结束条件而设定的情况下，则在这样的状态下简化处理结束，并移至光罩信息转换装置300中的光罩数据准备工序。
181.如以上所说明，在本实施方式中，针对包含将平滑的曲线近似而成的多边形光罩图案等复杂的多边形光罩图案的光罩信息，可得到高精确度的曝光图案，并且能够以计算负担小的方法缩减光罩信息的数据大小。
182.以下分别针对本实施方式中进行简化处理后的光罩图案与以往例的光罩图案，显示与所制造的光罩的制造相关的仿真结果。在以下的以往例中，使用通过既有的特定opc软件进行顶点数删减处理的结果。在该以往例中的顶点数删减处理中，于每固定区域进行顶点的删除。
183.图18是关于该光罩信息调整装置1的简化处理结果的图表。
184.图18中所示的图表是使纵轴为epe，横轴为简化处理后的顶点数。上方是关于进行本实施方式中的简化处理后的图表，下方是以往例的图表。各图表的最右侧的绘图(约80mpt)是未进行简化处理或顶点数删减处理的情况。各图表中显示了从调整前的光罩图案与调整后的光罩图案的比较而求出光罩整体的平均epe(edge placement error，边缘放置误差)的结果。若将两图表进行比较，可看出在进行本实施方式中的简化处理的情况下，于顶点数的整个区域中，epe的值较小。
185.此外，光罩信息调整装置1或光罩制造系统900的其他装置的构成并不限定于上述实施方式。亦即，其他装置中可包含光罩信息调整装置1的构成，或光罩信息调整装置1中可包含其他装置的构成。例如，光罩信息调整装置1亦可进一步具备根据通过输出部160输出的调整后光罩信息来执行光罩数据准备的准备部341，以使光罩信息调整装置1能够进行mpc/mdp处理等。此情况下，亦可解释成上述光罩信息转换装置300包含光罩信息调整装置1的构成。又，例如，光罩信息调整装置1亦可构成下述形态：进一步具备进行opc或生成简化前的多边形光罩图案的光罩图案生成部243或光罩图案转换部245等，以使光罩信息调整装置1能够获得高精确度的曝光图案，而能够生成数据大小较小的光罩信息。此情况下，亦可解释成上述光罩信息设计装置200包含光罩信息调整装置1的构成。
186.例如，使用光罩信息调整装置1作为opc的后处理时，具有如下优点。亦即，通过实施ilt处理，可在程序内部得到平滑的曲线。于此处以充分的精确度进行一般的多边形近似后，若以本实施方式实施简化处理，则不会损及最终的光罩性能，而能够以较小的数据量输出ilt所要求的光罩图案。而能够通过较小的数据量在短时间内进行各种数据传输。之后对于包含mpc的光罩数据准备系统的负担变轻，而且之后亦可在短时间内对于光罩描绘装置501进行数据传输。通过光罩制造系统900整体，可提升数据处理的处理量。
187.又，例如，亦可采用管线方式，在执行opc作为数据处理工序后，于该设备中连续地
进行mpc/mdp。以此方式使用光罩信息调整装置1作为opc-mpc/mdp管线处理的中间处理时，与上述相同地，可在短时间内进行mpc/mdp处理及对于光罩描绘装置501的传输。
188.又，例如，opc以充分的近似度输出多边形群时，亦可在后段的mpc/mdp处理前进行本实施方式的简化处理。以此方式使用光罩信息调整装置1作为mpc/mdp的前处理时，与上述相同地，相较于不进行简化的情况，mpc/mdp处理花费的时间缩短。又，亦可在短时间内将mdp处理后的数据传输至描绘机。此外，以此方式进行时，对于mpc/mdp处理的输入，无需opc的输出。对于欲呈现平滑曲线的任意图案，可期待本实施方式的简化处理的效果。例如可对光子组件的图案使用本实施方式的简化处理。
189.此外，本实施方式中的处理亦可利用软件来实现。然后，亦可通过软件下载等来配置该软件。又，亦可将该软件记录于cd-rom等记录媒体来传播。此外，本实施方式中实现光罩信息调整装置1的软件，是如下述的程序。亦即，该程序是用以使调整用于制造光罩的光罩信息的计算机发挥作为下述构件的功能：对象信息取得部，取得包含多边形光罩图案的调整前光罩信息；处理部，取得去除光罩图案的各顶点或边对于曝光图案造成的影响度并将其与该顶点或点配对，所述曝光图案是对应光罩图案并使用光罩所生成，依据所取得的个别的影响度是否满足预定条件来进行各顶点或边的去除，由此将光罩图案简化；及输出部，输出调整后光罩信息，该调整后光罩信息包含通过处理部简化后的光罩图案。
190.(其他)
191.图19是上述实施方式中的计算机系统800的概观图。图20是该计算机系统800的方块图。
192.在这些图中显示了执行本说明书所述的程序，且实现上述实施方式的光罩信息调整装置1等的功能的计算机构成。上述实施方式可利用计算机硬件及于其中执行的计算机程序来实现。
193.计算机系统800包含具有cd-rom驱动器的计算机801、键盘802、鼠标803及显示器804。
194.计算机801除了cd-rom驱动器8012以外，还包含：mpu8013；总线8014，与cd-rom驱动器8012等连接；rom8015，用以存储启动程序等程序；ram8016，与mpu8013连接，用以暂时存储应用程序的命令并提供暂时存储空间；及硬盘8017，用以存储应用程序、系统程序及数据。于此处，虽然图中未显示，但计算机801亦可进一步包含提供连接至lan的网络卡。
195.计算机系统800中执行上述实施方式的信息处理装置等的功能的程序，亦可将其存储于cd-rom8101中，插入cd-rom驱动器8012，再传输至硬盘8017。取而代之，程序亦可透过图中未显示的网络传送至计算机801，并存储于硬盘8017。程序是在执行时被加载至ram8016。程序亦可从cd-rom8101或网络直接加载。
196.程序亦可不必包含使计算机801执行上述实施方式的信息处理装置等的功能的操作系统(os)或第三方程序等。程序只要仅包含命令的部分而以受控的形态调用适当的功能(模块)以获得预期结果即可。计算机系统800如何运作已为公知，此处省略详细说明。
197.此外，在上述程序中，传送信息的传送工序或接收信息的接收工序等之中不包含通过硬件进行的处理，例如，不包含以传送工序中的调制解调器或适配卡等进行的处理(仅以硬件进行的处理)。
198.又，执行上述程序的计算机可为单数，亦可为复数。亦即，可进行集中处理，或亦可
进行分散处理。
199.又，在上述实施方式中，存在于一个装置的2个以上的构成要件，亦可利用物理上的一个媒介来实现。
200.又，在上述实施方式中，各处理(各功能)可通过以单一的装置(系统)进行集中处理来实现，或亦可通过以多个装置进行分散处理来实现(此情况下，可将由进行分散处理的多个装置所构成的整个系统理解为1个「装置」)。
201.又，在上述实施方式中，各构成要件间进行的信息传输，例如，在进行该信息传输的2个构成要件为物理性质不同者的情况下，可通过以一构成要件输出信息及以另一构成要件受理信息来进行，或在进行该信息传输的2个构成要件为物理性质相同者的情况下，亦可通过从对应一构成要件的处理阶段转移至对应另一构成要件的处理阶段来进行。
202.又，在上述实施方式中，与各构成要件所执行的处理有关的信息，例如各构成要件所受理、取得、选择、生成、传送、接收的信息，或是各构成要件在处理中使用的阈值或数学公式、地址等信息等，可不在上述说明中明确记载，亦可暂时或长期保持于图中未显示的记录媒体中。又，各构成要件或图中未显示的存储部亦可将信息存储于该图中未显示的记录媒体。又，各构成要件或图中未显示的读取部亦可从该图中未显示的记录媒体读取信息。
203.又，在上述实施方式中，各构成要件等使用的信息，例如各构成要件进行处理所使用的阈值、地址、各种设定值等信息，亦可由用户进行变更，此情况下，上述说明中可不必明确记载，可由用户适当变更这些信息，或亦可不进行。用户变更这些信息的情况下，该变更亦可通过例如受理来自使用者的变更指示的图中未显示的受理部及依据该变更指示而变更信息的图中未显示的变更部来实现。以该图中未显示的受理部受理变更指示，例如，可从输入设备受理，亦可接收透过通信线路传送的信息，亦可受理从预定记录媒体读取的信息。
204.本发明并不限定于以上实施方式，可进行各种变更，这些变更亦包含于本发明的范围内。
205.不限定于上述实施方式的构成本身，亦可省略上述实施方式之中的一部分构成要件或功能。
206.产业利用性
207.如上所述，本发明的光罩信息调整装置具有可缩减光罩信息的数据大小，而不会大幅影响曝光图案的效果，其作为光罩信息调整装置等十分有用。
208.附图标记说明
[0209]1ꢀꢀꢀ
光罩信息调整装置
[0210]
110 存储部
[0211]
120 接收部
[0212]
130 受理部
[0213]
140 处理部
[0214]
141 对象信息取得部
[0215]
143 影响度取得部
[0216]
145 去除部
[0217]
160 输出部
[0218]
170 传送部
[0219]
200 光罩信息设计装置
[0220]
210 第二存储部
[0221]
240 第二处理部
[0222]
241 目标曝光图案取得部
[0223]
243 光罩图案生成部
[0224]
245 光罩图案转换部
[0225]
270 第二传送部
[0226]
300 光罩信息转换装置
[0227]
310 第三存储部
[0228]
320 第三接收部
[0229]
340 第三处理部
[0230]
341 准备部
[0231]
370 第三传送部
[0232]
501 光罩描绘装置
[0233]
900 光罩制造系统
技术特征：1.一种光罩信息调整装置，是调整用于制造光罩的光罩信息，其特征在于，具备：对象信息取得部，取得包含多边形光罩图案的调整前光罩信息；处理部，取得去除所述光罩图案的各顶点或边对于曝光图案造成的影响度并将其与该顶点或点配对，所述曝光图案是对应所述光罩图案并使用光罩所生成，依据是否满足与所取得的影响度相关的预定条件来进行各顶点或边的去除，由此将所述光罩图案简化；及输出部，输出包含通过所述处理部简化后的光罩图案的调整后光罩信息。2.根据权利要求1所述的光罩信息调整装置，其特征在于，所述处理部取得所述光罩图案的全部顶点或全部边各自相应的所述影响度，并去除所取得的影响度最小的顶点或点。3.根据权利要求1或2所述的光罩信息调整装置，其特征在于，所述处理部进行所述光罩图案的一个顶点或边的去除，并取得去除一个顶点或边之后的所述光罩图案中去除各顶点或边所造成的影响度，在不满足预先规定的结束条件的情况下，根据所取得的各影响度进一步去除所述光罩图案的一顶点或边，在满足预先规定的结束条件的情况下，则结束所述光罩图案的简化。4.根据权利要求3所述的光罩信息调整装置，其特征在于，所述处理部在针对去除一顶点或边之后的所述光罩图案取得所述影响度后，将所取得的各影响度与预定阈值进行比较，在比较结果满足所述结束条件的情况下，结束所述光罩图案的简化。5.根据权利要求1至4中任一项所述的光罩信息调整装置，其特征在于，所述处理部针对所述光罩图案的各顶点或边，取得与删除该顶点或边所导致的所述光罩图案的面积变化量对应的值作为所述影响度。6.根据权利要求1至5中任一项所述的光罩信息调整装置，其特征在于，所述处理部针对构成所述光罩图案的一个边，取得由该边与半直线所形成的三角形的面积作为所述影响度，所述半直线包含邻接于该边的邻边并且以与该边共有的顶点不同的顶点作为基点。7.根据权利要求1至6中任一项所述的光罩信息调整装置，其特征在于，所述处理部在将构成所述光罩图案的一个边去除时，将半直线彼此的交点作为去除该边后的光罩图案中的顶点，所述半直线分别包含邻接于该边的邻边并且以与该边共有的顶点不同的顶点作为基点。8.根据权利要求1至7中任一项所述的光罩信息调整装置，其特征在于，所述处理部针对构成所述光罩图案的一个顶点，在由共有该顶点的两个边与两条半直线所形成的四边形不是凹四边形的情况下，取得该四边形的面积作为所述影响度，所述两条半直线包含分别邻接于该两个边的邻边并且分别以与邻接于该顶点的邻接顶点不同的顶点作为基点。9.根据权利要求1至8中任一项所述的光罩信息调整装置，其特征在于，所述处理部在将构成所述光罩图案的一个顶点去除时，在由共有该顶点的两个边与两条半直线所形成的四边形不是凹四边形的情况下，将所述半直线彼此的交点作为去除后的光罩图案中的顶点，所述两条半直线包含分别邻接于该两个边的邻边并且分别以与邻接于该顶点的邻接顶点不同的顶点作为基点。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的光罩信息调整装置，其特征在于，所述处理部针对构成所述光罩图案的一个顶点，在由共有该顶点的两个边与两条半直线所形成的四边形为凹四边形的情况下，取得由共有该顶点的两个边与两个所述邻接顶点彼此连结成的线段所形成的三角形的面积作为所述影响度，所述两条半直线包含分别邻接于该两个边的邻边并且分别以与邻接于该顶点的邻接顶点不同的顶点作为基点。11.根据权利要求1至10中任一项所述的光罩信息调整装置，其特征在于，所述处理部在将构成所述光罩图案的一个顶点去除时，在由共有该顶点的两个边与两条半直线所形成的四边形为凹四边形的情况下，将位于所述两条半直线之中一条的第一点与位于另一条的第二点作为去除后的光罩图案中的顶点，所述两条半直线包含分别邻接于该两个边的邻边并且分别以与邻接于该顶点的邻接顶点不同的顶点作为基点；所述第一点与所述第二点位于下述四边形的面积与下述三角形的面积相等的位置：所述四边形是由所述第一点与所述第二点连结成的线段、所述邻接顶点彼此连结成的线段及所述两条半直线所形成，所述三角形是由共有该顶点的两个边与将两个所述邻接顶点彼此连结成的线段所形成。12.根据权利要求1至11中任一项所述的光罩信息调整装置，其特征在于，所述调整前光罩信息包含通过opc(光学邻近修正)所生成的光罩图案。13.根据权利要求1至12中任一项所述的光罩信息调整装置，其特征在于，所述对象信息取得部取得与作为目标的曝光图案对应的目标光罩图案，并根据所取得的所述目标光罩图案，取得所述调整前光罩信息。14.根据权利要求1至12中任一项所述的光罩信息调整装置，其特征在于，进一步具备准备部，根据由所述输出部输出的所述调整后光罩信息来执行光罩数据准备。15.一种光罩数据调整方法，是调整用于制造光罩的光罩信息，其特征在于，具备：对象信息取得工序，取得包含多边形光罩图案的调整前光罩信息；处理工序，取得去除所述光罩图案的各顶点或边对于曝光图案造成的影响度并将其与该顶点或点配对，所述曝光图案是对应所述光罩图案并使用光罩所生成，依据是否满足与所取得的影响度相关的预定条件来进行各顶点或边的去除，由此将所述光罩图案简化；及输出工序，输出包含通过所述处理工序简化后的光罩图案的调整后光罩信息。16.一种程序，其特征在于，用以使调整用于制造光罩的光罩信息的计算机发挥作为下述构件的功能：对象信息取得部，取得包含多边形光罩图案的调整前光罩信息；处理部，取得去除所述光罩图案的各顶点或边对于曝光图案造成的影响度并将其与该顶点或点配对，所述曝光图案是对应所述光罩图案并使用光罩所生成，依据是否满足与所取得的影响度相关的预定条件来进行各顶点或边的去除，由此将所述光罩图案简化；及输出部，输出包含通过所述处理部简化后的光罩图案的调整后光罩信息。
技术总结本发明的课题是以往的光罩信息调整装置中具有可得到高精确度的曝光图案的光罩信息的数据大小会庞大的问题。本发明的解决方案是通过光罩信息调整装置(1)，可缩减光罩信息的数据大小，而不会大幅影响曝光图案；该光罩信息调整装置(1)具备：对象信息取得部(141)，取得包含多边形光罩图案的调整前光罩信息；处理部(140)，取得去除光罩图案的各顶点或边对于曝光图案造成的影响度并将其与顶点或点配对，所述曝光图案是对应光罩图案并使用光罩所生成，依据是否满足与所取得的影响度相关的预定条件来进行各顶点或边的去除，由此将光罩图案简化；及输出部(160)，输出包含通过处理部(140)简化后的光罩图案的调整后光罩信息。(140)简化后的光罩图案的调整后光罩信息。(140)简化后的光罩图案的调整后光罩信息。
技术研发人员：角田大 堀间康章
受保护的技术使用者：日本控制系统株式会社
技术研发日：2021.03.26
技术公布日：2022/11/1
